“许董，按照目前的情况来看，我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握，并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供🌒⚈精准的激光光源。
光刻机😅⚥📤的原理🛩🟄🚨和照相机的原理基本一样，都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高，最低可达到0018微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程技😏⛽术，精度要达到001微米以下。
由此可以想到，第三代光刻机对激光🆎光源的功率、稳定性的要求肯定非常高，一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话，一边指挥着李全等人怎么组装激🙙光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要，能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性，胡明镇不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成？”
看到李全等人的进度不是很快，许振鸣认为站在这🙙里没啥意思，准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前，他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表🀾。
“许董，如果一切顺利，我们会在元月28日左右开始试生产，并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙，跟许振鸣说了几句，又开🆚始投入工作。
许振鸣见此，拿着一摞用👃🆉a4纸打印的资料，一边🙙翻看🖩着一边朝隔壁的车间走去。
“三天内完成设备组装和安装，五天内调试好这台设备，第九天以后开始做试生产的准备嗯，这个计划还算可🔍⚻🔍⚻🔍⚻以。”
许振鸣一边走路一边颔首点头🝛🞍，认为胡明镇的🁞工作做得不错，准备很充分。
不多久，他来到4号钢构厂房的另外一个光刻🁞室。
这间光刻室🔥💏是用来安装国产光刻机🁉的生产车间。
车间🝐里此时也非常忙碌，万宁古、何昌🗍🚕林和郝宁😢🃃等人也正在装配第三代光刻机。
他们这边的进度好像要快了许多，激光🗍🚕光路系统的部件已经组装完成，光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在🐼🅐召开现场讨论会，好像要准备进行光刻机的总装工😏⛽序。
看到这种情况，许振鸣🆐倒是不理解，“老万，你们这边的进度为啥要快一🙦🌨些？”
“许董，这台光刻机的主要部件我们都已经准备好，就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货，其🆚实根本不要检验其性能。最🀾关键的事情就看光刻机总装以后的效果。
“光刻机🙪的精度主要是受👃🆉主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主🗩🞓📭体机械系统精度不够，我们的项目还是没成功。”
说到最后，万宁🆗🏬🝋古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主🅤体系统的精度🙦🌨很担心，心里没有十足的把握。
听到这话，许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备？”念及此，许振鸣想要知道万📗🛂🙡宁古等人的总装和调试计划。
“三天左右吧。”何昌林扫了一眼现🆎场的情🂃🌅况，缓缓说道。
“三天恐怕不行，最少要五天时间。”
“最多五天时间，☓许董。五天以后，我们就能做流片试验了。”
万宁古和郝宁等人的意见还不统一，一个说要三天多，一😺🆘个说要五天时间。